目前客戶對三氯氫硅產品質量的要求越來越高，特別是對三氯氫硅中碳含量的要求，是前所未有的。大部分客戶需要的是低碳料，他們對碳含量的指標要求有的在10ppm以下，有的在20ppm以下，有的在30ppm以下，有的在50ppm以下，由此看來低碳料的生產是目前市場的主流。根據市場細分，我們把含碳量50ppm以下的稱為低碳料，50ppm到150ppm的稱為中碳料，150ppm以上的為高碳料。怎么才能生產出符合用戶要求的三氯氫硅產品，是擺在我們面前的一個需要急迫解決的問題。

在三氯氫硅的生產中精餾是非常重要的步驟，精餾的效果直接關系到產品品質，更好的精餾方案能實現節能減排的效果，使企業效益達到最佳。精餾的主要平衡是質量平衡、熱量平衡和氣液平衡。有效的精餾方案能使精餾塔應對不斷變化的參數。對精餾過程控制的方案主要在物料、溫度和壓力方面進行相關設計。

針對精餾提純工藝改造中的難點，科研技術人員通過采用節能模擬分析和計算，從三個方面對控制精餾塔進行要求：約束條件、塔的平衡和產品品質要求。進一步優化了工藝流程，使新工藝較常規提純工藝節能45%以上，實現了三氯氫硅、四氯化硅含量在999％以上，其中氯化硼、氯化磷含量在5ppb，碳在10ppm以下，鐵在30ppb以下。